2024年9月25日至27日，第十二屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(CSEAC 2024)于江蘇無錫太湖國際博覽中心圓滿召開。此次展會，眾多國內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備制造商齊聚一堂，共話行業(yè)發(fā)展。大金清研先進科技(惠州)有限公司(如下簡稱：大金清研(DTAT))作為受邀參展者，將其為中國的半導(dǎo)體工廠和半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠客戶提供從原材料聚合物、混煉膠配方開發(fā)到全氟醚橡膠密封圈O-ring成型生產(chǎn)及應(yīng)用的一站式解決方案進行了全方位展示，獲得現(xiàn)場廣泛關(guān)注。
第十二屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會大金清研(DTAT)展臺
(現(xiàn)場實拍，以下亦同)
據(jù)業(yè)內(nèi)人士介紹，在半導(dǎo)體前工序生產(chǎn)制造中，彈性體密封墊的可靠性非常關(guān)鍵，不僅對密封件的清潔度和純凈度要求嚴(yán)格，同時密封件必須能夠在高真空度、高腐蝕性化學(xué)氣體、等離子體下及高溫環(huán)境中長期工作，DUPRA全氟醚橡膠密封圈滿足以上諸多要求。
大金清研(DTAT)DUPRA全氟醚橡膠密封圈
而且，隨著半導(dǎo)體制膜工序?qū)Τ赡ば院图庸ば室蟮牟粩嗵岣?，需要的密封材料必須能承受更高的溫度并適應(yīng)長期使用。大金清研(DTAT)針對這一需求，研發(fā)出耐熱性突出的DU353、DU553、DU551型DUPRA全氟醚橡膠密封圈。DUPRA產(chǎn)品在大幅減少金屬和析出氣體等常見的污染源的同時，其耐熱性能達到了行業(yè)的優(yōu)異水平，因此特別適用于立式爐(Diffusion Furnace)、燈管退火(Lamp Anneal)、低壓化學(xué)氣相沉積(LP-CVD)等高溫生產(chǎn)環(huán)境。
在半導(dǎo)體的制膜和刻蝕工序中，等離子體的使用越來越普遍，這要求密封件必須具備高等離子耐受性。DU3R1與DU341型DUPRA全氟醚橡膠密封圈在處理氧、氟等類型的等離子體時展現(xiàn)了優(yōu)異的性能，確保半導(dǎo)體器件在等離子體處理過程中不受電氣性能損害，適用于高密度等離子體化學(xué)氣相沉積(HDPCVD)、等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)、刻蝕(Etching)、灰化(Ashing)、金屬化學(xué)氣相沉積(Metal CVD)和常壓化學(xué)氣相淀積(APCVD)等工藝。
DUPRA全氟醚橡膠密封圈產(chǎn)品目錄(數(shù)據(jù)來源：DAIKIN FINETECH,LTD)
展會現(xiàn)場，大金清研(DTAT)團隊在參展期間與眾多業(yè)內(nèi)人士展開了深度技術(shù)交流與智慧碰撞，技術(shù)專家為現(xiàn)場嘉賓詳細(xì)介紹了DUPRA全氟醚橡膠密封圈的特點與應(yīng)用，并答疑解惑。
大金清研(DTAT)展臺現(xiàn)場技術(shù)交流及客戶洽談
行業(yè)對高質(zhì)量部件的需求，推動了半導(dǎo)體設(shè)備和材料制造商在技術(shù)創(chuàng)新、生產(chǎn)工藝和質(zhì)量控制上的不斷進步。大金清研(DTAT)專注于半導(dǎo)體設(shè)備核心部件研發(fā)，憑借日本大金集團深厚的氟化工技術(shù)基礎(chǔ)，推出的高性能DUPRA全氟醚橡膠密封圈，在不同生產(chǎn)工藝流程中均展現(xiàn)了其優(yōu)異特性，不斷挑戰(zhàn)半導(dǎo)體領(lǐng)域更高需求。
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