2021年11月5日，中國(guó)上海——11月5日至10日，全球芯片光刻技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者ASML(阿斯麥)再度亮相第四屆中國(guó)國(guó)際進(jìn)口博覽會(huì)(以下簡(jiǎn)稱“進(jìn)博會(huì)”)， 展臺(tái)號(hào)4.1 A1-001。 ASML以“光刻未來(lái)，攜手同行”為主題，首次在進(jìn)博會(huì)平臺(tái)上以視頻形式展示了光刻機(jī)內(nèi)部各個(gè)模塊之間的基本原理，并展示了ASML“鐵三角”業(yè)務(wù)——全方位光刻解決方案，持續(xù)傳遞ASML深耕中國(guó)市場(chǎng)，推動(dòng)中國(guó)乃至全球半導(dǎo)體行業(yè)共同發(fā)展的愿景。
ASML展臺(tái)首日迎來(lái)眾多專業(yè)觀眾
近年來(lái)，中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，為了聚焦產(chǎn)業(yè)前沿方向，深化合作和開(kāi)放理念，技術(shù)裝備展區(qū)首次設(shè)立了集成電路專區(qū)，而ASML便是在集成電路專區(qū)亮相。“近年來(lái)，中國(guó)集成電路行業(yè)發(fā)展十分強(qiáng)勁，增設(shè)集成電路專區(qū)有助于加強(qiáng)國(guó)內(nèi)外集成電路產(chǎn)業(yè)間的交流，為加快構(gòu)建新發(fā)展格局貢獻(xiàn)力量。”ASML全球副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波表示，“今年是ASML第三次參加進(jìn)博會(huì)。進(jìn)博會(huì)持續(xù)展現(xiàn)了中國(guó)繼續(xù)擴(kuò)大開(kāi)放和推動(dòng)創(chuàng)新的決心，ASML也正是抱著開(kāi)放合作的態(tài)度多次參與進(jìn)博會(huì)。我們希望能夠借助進(jìn)博會(huì)的平臺(tái)進(jìn)一步展示ASML領(lǐng)先的光刻解決方案和卓越的服務(wù)，深化與本土客戶的合作，與中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈共同成長(zhǎng)，并為中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)培養(yǎng)和輸送優(yōu)秀人才。”
首次揭秘光刻機(jī)的內(nèi)部世界
一直以來(lái)，ASML不斷精進(jìn)光刻精度，推進(jìn)摩爾定律前進(jìn)。為了更好地展示ASML領(lǐng)先的光刻工藝，ASML在本屆進(jìn)博會(huì)上首次通過(guò)3D裸眼視頻為觀眾分享光刻機(jī)的基本原理——光源經(jīng)過(guò)照明模組投向掩模版，再穿過(guò)掩模版上的電路圖案，通過(guò)投影物鏡將影像聚焦到晶圓上。
此外，ASML還通過(guò)H5游戲的方式為觀眾帶來(lái)了線上“追光實(shí)驗(yàn)室”，為參觀者打造了一座沉浸式體驗(yàn)光刻原理的虛擬互動(dòng)實(shí)驗(yàn)室，從而體驗(yàn)浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)與雙晶圓工作臺(tái)等尖端前沿的光刻技術(shù)。
展示“鐵三角”光刻全方位解決方案
1984年以來(lái)，ASML的光刻解決方案在微小的世界中實(shí)現(xiàn)了巨大的飛躍，通過(guò)硬件、軟件相結(jié)合，ASML提出了全方位的光刻解決方案，以先進(jìn)控制能力的光刻機(jī)臺(tái)，計(jì)算光刻和電子束量測(cè)，通過(guò)建模、仿真、分析等技術(shù)，不斷提高邊緣定位精度，持續(xù)賦能每一代芯片的制造，提高芯片生產(chǎn)的良率和產(chǎn)能。
在ASML的計(jì)算光刻解決方案中，機(jī)器學(xué)習(xí)和大數(shù)據(jù)將發(fā)揮突出的作用，實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)光刻和量測(cè)過(guò)程的高精度預(yù)測(cè)，幫助芯片制造商優(yōu)化制造流程，以最低的成本實(shí)現(xiàn)最高的性能。而量測(cè)檢驗(yàn)系統(tǒng)將通過(guò)使用多個(gè)電子束快速測(cè)量晶圓上的所有數(shù)據(jù)點(diǎn)，幫助芯片制造商有效地控制芯片缺陷率。
推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)不斷突破極限，促進(jìn)行業(yè)人才發(fā)展
近年來(lái)，隨著5G、人工智能和物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展，對(duì)于更智能、更小、更快、更節(jié)能的芯片的追求推動(dòng)著半導(dǎo)體行業(yè)加速前進(jìn)。自1988年向中國(guó)提供第一臺(tái)光刻機(jī)開(kāi)始，ASML便與中國(guó)深深結(jié)緣。2000年， ASML中國(guó)正式成立。為了不斷滿足中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展需求，更好地支持和服務(wù)本土客戶，ASML還于近期著手建設(shè)本地維修和軟件研發(fā)能力。
沈波表示：“半導(dǎo)體是一條高度全球化的產(chǎn)業(yè)鏈，開(kāi)放合作是最核心的行業(yè)發(fā)展理念，ASML的光刻機(jī)也依賴于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)全球合作生產(chǎn)。中國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)正進(jìn)入快速發(fā)展的新階段，對(duì)創(chuàng)新的光刻解決方案和優(yōu)秀人才的需求與日俱增。”
作為行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者，ASML也加快為中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)分享經(jīng)驗(yàn)并培養(yǎng)技術(shù)研發(fā)人才。一直以來(lái)，ASML在中國(guó)持續(xù)踐行企業(yè)社會(huì)責(zé)任，牽手公益基金開(kāi)展各類項(xiàng)目助力青年科技人才培養(yǎng);2018年，ASML在上海成立了全球培訓(xùn)中心，加深了本土光刻人才的發(fā)展。2021年，ASML開(kāi)放了大量軟硬件人才的職位，覆蓋全方位光刻解決方案的各塊業(yè)務(wù)。秉承驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體各種創(chuàng)新應(yīng)用幫助解決人類生活中的各種挑戰(zhàn)，ASML攜手業(yè)內(nèi)人士、客戶和行業(yè)伙伴共同拓展光刻技術(shù)的邊界，為實(shí)現(xiàn)人類更智慧、更美好的生活賦能。
關(guān)于ASML阿斯麥光刻
總部位于荷蘭的ASML是全球芯片制造設(shè)備領(lǐng)導(dǎo)廠商，并且是芯片光刻技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者。我們的愿景是驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體的各種應(yīng)用來(lái)幫助解決人類生活中各種挑戰(zhàn)。為了實(shí)現(xiàn)這個(gè)目標(biāo)，我們提供創(chuàng)新的產(chǎn)品和服務(wù)來(lái)幫助芯片制造商不斷微縮芯片。我們不斷提高產(chǎn)品的性能，以幫助客戶持續(xù)提升芯片價(jià)值并降低成本。我們致力于讓芯片的性能更強(qiáng)大、價(jià)格更合理，進(jìn)而促使半導(dǎo)體技術(shù)能更廣泛的應(yīng)用于醫(yī)療、能源、通訊和娛樂(lè)等相關(guān)產(chǎn)品與服務(wù)中。
30多年來(lái)，ASML的成功來(lái)自于和客戶及供貨商緊密合作所共同創(chuàng)造的領(lǐng)先技術(shù)、高效能的流程和優(yōu)秀的員工。ASML在全球16個(gè)國(guó)家的60個(gè)城市設(shè)有辦公室，員工超過(guò)29000，包括中國(guó)員工1000多名。ASML為荷蘭阿姆斯特丹證券交易所和美國(guó)NASDAQ上市公司。
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