11月1日，SEMICON China 2022國際半導體高峰論壇在上海國際會議中心開幕。此次論壇由高峰論壇、智能制造論壇等7個系列論壇組成，埃克斯工業(yè)(IKAS)CEO李杰受邀在智能制造論壇發(fā)表了《工業(yè)知識自動化推動半導體零缺陷生產(chǎn)ZDP》主題分享。
IKAS面向半導體全產(chǎn)業(yè)鏈提供工業(yè)知識自動化產(chǎn)品，并創(chuàng)新性地利用數(shù)字孿生、AR/VR等技術打造出“工業(yè)元宇宙”平臺，在重塑半導體制造場景的基礎上實現(xiàn)半導體制造的改進和優(yōu)化、形成全新的制造和服務體系。李杰指出，這種平臺化的整合，通過實現(xiàn)對fab資產(chǎn)的互聯(lián)和上層系統(tǒng)開發(fā)部署，打造出虛擬和現(xiàn)實聯(lián)通的真正孿生工廠，從根本上擺脫傳統(tǒng)虛擬智能映射現(xiàn)實的瓶頸。
關于工業(yè)知識自動化所帶來的收益，李杰表示，通過IKAS工業(yè)元宇宙平臺的虛實結合，從工藝研發(fā)、生產(chǎn)優(yōu)化、設備運維、產(chǎn)品測試和技術培訓等多層面綜合賦能，全方面助力芯片零缺陷生產(chǎn)。
IKAS工業(yè)元宇宙平臺包括數(shù)字孿生、AR/VR生產(chǎn)培訓、智能設備調(diào)度與控制、智能設備監(jiān)控及維護預警、智能工藝優(yōu)化等核心產(chǎn)品。
其中，數(shù)字孿生承載著工業(yè)知識自動化系統(tǒng)，整合了采集、聚合、洞見、優(yōu)化四大功能，并根據(jù)物理實體和流程建立準實時數(shù)字化模型，幫助識別不同層面偏離理想狀態(tài)的異常情況。
IKAS AR/VR是另一大創(chuàng)新型增強現(xiàn)實產(chǎn)品，利用高性能計算平臺加速半導體制造領域模擬與建模的實際應用，創(chuàng)建實時基于物理信息的交互式數(shù)字孿生原型，以實現(xiàn)可視化與交互式探索。
隨著各領域對芯片良率的要求逐漸升高，制造廠商開始致力于實現(xiàn)零缺陷生產(chǎn)，而實現(xiàn)零缺陷生產(chǎn)需要完整的制造體系。生產(chǎn)軟件系統(tǒng)作為解決方案之一，對半導體產(chǎn)業(yè)體系發(fā)展有重大戰(zhàn)略意義。
關于半導體廠商如何應對芯片ZDP零缺陷生產(chǎn)挑戰(zhàn)，李杰介紹到，做到以下三大方面準備是有必要的，即樹立規(guī)范生產(chǎn)理念，通過內(nèi)外部培訓建立芯片生產(chǎn)理念，從高管到基層員工人人形成零缺陷生產(chǎn)意識，嚴格執(zhí)行規(guī)范;建立高標準運營要求，包括更嚴格的運營規(guī)定，如嚴格的無塵車間運維、清潔等政策，周期性內(nèi)部監(jiān)管、外部客戶審計;更高資產(chǎn)狀態(tài)要求，如對工藝、生產(chǎn)設備有更加嚴格的要求;更嚴格的spec，F(xiàn)ab inline Metrology & Defect、Yield、ET等核心KPI都有更嚴格的卡控標準Spec;更強的監(jiān)測和量測，資產(chǎn)監(jiān)控和量測強化，體現(xiàn)在監(jiān)控和測試批次頻率、同批次數(shù)據(jù)采集頻率、數(shù)據(jù)采集量等;執(zhí)行嚴格Lot管理，芯片lot特殊化管理，具有與其他lot不同的生產(chǎn)管理和調(diào)度規(guī)則，如生產(chǎn)和測試數(shù)據(jù)保存15年。
埃克斯工業(yè)憑借其核心的“ROPN底層建模技術+工業(yè)AI決策算法體系”，結合對上述三大方面的深厚理解所研發(fā)出工業(yè)元宇宙平臺產(chǎn)品，正在為半導體全產(chǎn)業(yè)鏈賦能，助力芯片零缺陷生產(chǎn)。接下來，?？怂构I(yè)將繼續(xù)致力于通過工業(yè)知識自動化(智能制造)系統(tǒng)為半導體裝備和產(chǎn)線的強化和升級賦能。
最后，李杰表示，半導體智能制造技術和系統(tǒng)的開發(fā)和落地，需要終端用戶、解決方案提供商、研發(fā)機構、學術組織等的公共合作，充分利用多方資源，共同促進相關技術產(chǎn)品的落地、打造適合中國國情的半導體制造生態(tài)。
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