5月9日消息，近日中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）推出自主研發(fā)的12英寸低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)設(shè)備Preforma Uniflex? CW。
據(jù)悉作為中微公司自主研發(fā)的產(chǎn)出效率高且性能卓越的12英寸LPCVD設(shè)備，PreformaUniflex? CW可靈活配置多達(dá)五個雙反應(yīng)臺反應(yīng)腔（十個反應(yīng)臺），每個反應(yīng)腔可以同時加工兩片晶圓，在保證較低的生產(chǎn)成本和化學(xué)品消耗的同時，實(shí)現(xiàn)更高的生產(chǎn)效率。
Preforma Uniflex? CW配備了完全擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的優(yōu)化混氣方案及加熱臺, 具有優(yōu)秀的薄膜均一性、填充能力和工藝調(diào)節(jié)靈活性，對于彎曲度較大的晶圓，它也具備良好的工藝處理能力。并且其優(yōu)異的階梯覆蓋率和填充能力，可以滿足先進(jìn)邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應(yīng)用需求。
- 蜜度索驥：以跨模態(tài)檢索技術(shù)助力“企宣”向上生長
- 《全職高手》登陸上海北外灘 成二次元愛好者熱門打卡地
- 新勢力2025年將迎決戰(zhàn)?銷量翻番才能活下去？
- 馬蜂窩大數(shù)據(jù)：“元旦一日游”熱度上漲166%，不少人選擇“請四休九”
- 亞馬遜云科技陳曉建：2025年很多客戶將從生成式AI原型驗證轉(zhuǎn)為生產(chǎn)應(yīng)用
- 林肯中國回應(yīng)“并入福特中國”傳聞：簡化財務(wù)體系 各項業(yè)務(wù)保持不變
- 要做中國的OpenAI？字節(jié)跳動2024年研發(fā)開支接近BAT之和
- 螞蟻旗下跨境匯款平臺為開發(fā)者提供收款服務(wù) 每日限額10萬美元
- 要買車還能再等等！2025年新能源車，這些關(guān)鍵技術(shù)將有重大升級
- AAAA，三七互娛發(fā)起的游心公益基金會社會組織評估等級再提升
- 網(wǎng)易云音樂2024年度聽歌報告刷屏 你最喜歡的歌手是誰？
免責(zé)聲明：本網(wǎng)站內(nèi)容主要來自原創(chuàng)、合作伙伴供稿和第三方自媒體作者投稿，凡在本網(wǎng)站出現(xiàn)的信息，均僅供參考。本網(wǎng)站將盡力確保所提供信息的準(zhǔn)確性及可靠性，但不保證有關(guān)資料的準(zhǔn)確性及可靠性，讀者在使用前請進(jìn)一步核實(shí)，并對任何自主決定的行為負(fù)責(zé)。本網(wǎng)站對有關(guān)資料所引致的錯誤、不確或遺漏，概不負(fù)任何法律責(zé)任。任何單位或個人認(rèn)為本網(wǎng)站中的網(wǎng)頁或鏈接內(nèi)容可能涉嫌侵犯其知識產(chǎn)權(quán)或存在不實(shí)內(nèi)容時，應(yīng)及時向本網(wǎng)站提出書面權(quán)利通知或不實(shí)情況說明，并提供身份證明、權(quán)屬證明及詳細(xì)侵權(quán)或不實(shí)情況證明。本網(wǎng)站在收到上述法律文件后，將會依法盡快聯(lián)系相關(guān)文章源頭核實(shí)，溝通刪除相關(guān)內(nèi)容或斷開相關(guān)鏈接。
