臺(tái)積電業(yè)務(wù)開(kāi)發(fā)資深副總裁張曉強(qiáng)對(duì)外宣稱，臺(tái)積電A14制程不會(huì)采用High - NA EUV技術(shù)。據(jù)悉，該制程不引入High - NA EUV光刻技術(shù)，仍會(huì)堅(jiān)持使用原有的EUV光刻設(shè)備。臺(tái)積電堅(jiān)信，即便沒(méi)有High - NA EUV光刻設(shè)備，A14制程也能夠達(dá)成性能、密度、良品率等方面的目標(biāo)。
資料表明，A14作為臺(tái)積電的下一世代制程技術(shù)，屬于臺(tái)積電1.4nm級(jí)半導(dǎo)體工程，其表現(xiàn)顯著優(yōu)于當(dāng)前已商用的3nm工藝以及即將商用的2nm工藝。臺(tái)積電公布的數(shù)據(jù)顯示，和N2工藝（2nm）相比，A14在相同功耗的情況下能實(shí)現(xiàn)高達(dá)15%的速度提升，或者在相同速度時(shí)降低高達(dá)30%的功耗，并且邏輯密度會(huì)提升20%以上。
按照臺(tái)積電的規(guī)劃，A14計(jì)劃于2028年投產(chǎn)。除了A14，臺(tái)積電還規(guī)劃了A14P、A14X、A14C等多個(gè)衍生版本。
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