在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入7nm節(jié)點(diǎn)之后，EUV光刻機(jī)成了關(guān)鍵裝備，現(xiàn)在只有ASML一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)，主要客戶也只有三家——臺積電、Intel及三星。
由于供不應(yīng)求，EUV光刻機(jī)也成為三家廠商爭奪的焦點(diǎn)，不過Intel的7nm工藝要到2022年，所以現(xiàn)在有EUV生產(chǎn)線的主要是臺積電、三星兩家。
在這場競賽中，臺積電的EUV光刻機(jī)數(shù)量遙遙領(lǐng)先，據(jù)統(tǒng)計，ASML近年來一共量產(chǎn)了100臺左右的EUV光刻機(jī)，其中供應(yīng)給臺積電的就有70臺，占了絕大多數(shù)份額，多數(shù)都是在最近一年中交付的。
三星集團(tuán)的掌門人李在镕去年專門拜訪了ASML公司，希望獲得更多的EUV光刻機(jī)供應(yīng)，但縮短與臺積電的差距依然需要很多努力。
對三星來說，盡管EUV光刻機(jī)售價超過1億歐元，但三星并非買不起，與臺積電在EUV光刻機(jī)上的差距并非資本投資決定的，而是臺積電拉攏到了客戶，包括蘋果、AMD以及之前的華為，這是臺積電擴(kuò)充EUV生產(chǎn)線的關(guān)鍵。
相比之下，三星的EUV工藝客戶太少，除了自家的Exynos芯片之外，主要就是高通了，NVIDIA、IBM雖然也找三星代工了，但還沒有使用EUV生產(chǎn)線。
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