半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化新曙光:新凱來“軟硬協(xié)同”模式引領(lǐng)行業(yè)變革

半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化新曙光:新凱來“軟硬協(xié)同”模式引領(lǐng)行業(yè)變革

近年來,隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化已成為行業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。在這個(gè)領(lǐng)域,深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司以其自主研發(fā)的31款高端設(shè)備,展示了其在碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等第三代半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破,引發(fā)了行業(yè)的高度關(guān)注。新凱來的“軟硬協(xié)同”模式,更是引領(lǐng)了行業(yè)變革的新方向。

首先,我們必須明確一點(diǎn),半導(dǎo)體設(shè)備作為芯片供應(yīng)鏈上的重要一環(huán),其重要性不言而喻。尤其在芯片工藝持續(xù)演進(jìn)的情況下,對設(shè)備的要求更是與日俱增。然而,全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的格局卻主要由美國、日本和荷蘭三國把控。這無疑給國內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)帶來了巨大的壓力。

在這樣的背景下,新凱來的出現(xiàn)無疑為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)帶來了新的曙光。新凱來工業(yè)機(jī)器成立于2022年,是深圳國資體系重點(diǎn)孵化的半導(dǎo)體裝備企業(yè)。依托深圳國資委在集成電路產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略布局,新凱來專注于突破半導(dǎo)體制造設(shè)備“卡脖子”難題。公司核心團(tuán)隊(duì)匯聚了國內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域頂尖人才,已構(gòu)建覆蓋前道制程裝備、精密檢測設(shè)備及核心零部件的完整研發(fā)體系。

新凱來此次在上海SEMICON China 2025半導(dǎo)體展期間發(fā)布的31款設(shè)備,幾乎覆蓋了芯片制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),含四大類(擴(kuò)散、刻蝕、薄膜和量檢測)產(chǎn)品,展示了其在半導(dǎo)體制造全流程的全面布局。這些設(shè)備不僅包括PVD(普陀山)、CVD(長白山)、ALD(阿里山)等薄膜設(shè)備,ETCH(武夷山)刻蝕裝備,還包括岳麗山BFI光學(xué)檢測系統(tǒng)等產(chǎn)品。這些新品均與半導(dǎo)體先進(jìn)制造工藝密切相關(guān),例如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝,ALD針對原子級薄膜沉積,是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備;CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一,設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。

新凱來工藝裝備產(chǎn)品線總裁杜立軍在演講中指出,在半導(dǎo)體設(shè)備方面,新凱來在系統(tǒng)架構(gòu)、硬件、器件和算法方面全面布局,并基于設(shè)計(jì)理念是一代工藝,一代材料,一代裝備的設(shè)計(jì)理念來發(fā)展。這一理念充分體現(xiàn)了新凱來對半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)的深度理解和獨(dú)特見解。

新凱來CTO李明哲對媒體透露,公司已構(gòu)建“設(shè)備+檢測+數(shù)據(jù)”三位一體解決方案。例如岳麓山系列量測設(shè)備通過AI算法實(shí)現(xiàn)工藝參數(shù)實(shí)時(shí)優(yōu)化,良率提升效率較傳統(tǒng)方案提高3倍。這種“軟硬協(xié)同”模式正在改寫設(shè)備商單純比拼硬件性能的行業(yè)規(guī)則。

對于新凱來的這一系列舉措,平安證券指出,半導(dǎo)體制造國產(chǎn)趨勢明確,自主可控主旋律延續(xù),利好半導(dǎo)體制造和設(shè)備。各大廠在AI終端方面持續(xù)投入,具備AI性能的芯片不斷推陳出新,有望驅(qū)動新一輪換機(jī)需求。

然而,盡管新凱來及其同類企業(yè)受到了廣泛關(guān)注,但面臨的挑戰(zhàn)也不容忽視。在美國出口管制背景下,國內(nèi)相關(guān)企業(yè)仍需面對技術(shù)和設(shè)備上的限制。此外,如何構(gòu)建相關(guān)生態(tài),真正在產(chǎn)業(yè)鏈能用、好用才是硬道理。

總的來說,新凱來的“軟硬協(xié)同”模式為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)帶來了新的曙光。在面臨美國出口管制等挑戰(zhàn)的同時(shí),新凱來及其同類企業(yè)仍需不斷努力,提升技術(shù)水平,完善產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài),以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的目標(biāo)。未來,我們期待新凱來以及國內(nèi)其他半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)能夠持續(xù)創(chuàng)新,為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入新的動力。

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2025-04-03
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